应用领域Application
半导体与电子
生产集成电路芯片需要高度专业化的设备,可在多重苛刻环境下工作,如:
· 真空环境下的等离子
· 高温
· 与高度研磨液接触
· 暴露于多种高腐蚀性化学品
与石英和陶瓷等传统材料相比,既满足了晶圆低污染加工的最严格要求,又是低成本的解决方案。我们的材料被设计用于整个晶圆加工制程。
您的优势
· 准确复制全球任何地区可用的材料
· 广泛的材料选择、工程支持和测试能力
· 机加工能力,支持仿真系统NPI应用发展
· 材料组合最为广泛,专设计用于湿制程工具
· CMP环材料的全球一流制造商,包括PPS(全球标准CMP应用)
· 用于刻蚀、CVD和离子植入等干式制程工具的材料,可降低成本和提高性能


